特氣柜主要用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，特氣柜有一個外殼上有抽風管，當發生小泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免擴散產生更大危險。可分為單鋼瓶/ 雙鋼瓶/ 三鋼瓶氣瓶柜內的鋼瓶數設計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。
混合手動特氣柜（GR）
基礎配置
■氦檢報告
■高壓測漏功能
■帶自清潔功能
■半自動切換供氣
■4寸排風口及閥門
■配置吹掃抽真空功能
■帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼
可選配置
■噴淋頭
■帶加熱盤面
■高溫探測報警
■配置電子磅秤
■煙霧感應器配置 UV/IR火焰探測器
■前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器
適應氣體
燃爆性氣體，如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性氣體，如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等
應用行業
應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。
