特氣柜主要用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，特氣柜有一個外殼上有抽風管，當發生小泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免擴散產生更大危險。可分為單鋼瓶/ 雙鋼瓶/ 三鋼瓶氣瓶柜內的鋼瓶數設計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。
基礎配置
■氦檢報告
■三色塔燈
■防爆電控箱
■高壓測漏功能
■帶自清潔功能
■工藝瓶自動供氣
■4寸排風口及閥門
■所有閥門使用氣動閥
■防爆外柜，烤漆或不銹鋼外殼包覆
■符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗
■實現人氣分離的全自動觸摸屏操作(外吹掃、抽真空，自動緊急遠程切斷、事故報警，高壓保壓鋼瓶接頭測漏，泄漏報警對 接，通風出口等)
可選配置
■噴淋頭
■帶加熱盤面
■高溫探測報警
■配置電子磅秤
■配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應
■前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器
■為保證安全，所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌
適應氣體
燃爆性氣體，如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性氣體，如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等
應用行業
應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。
