特氣柜是一種專門用于供應特種氣體的設備，如易燃、易爆、劇毒等，這些氣體在半導體和LED等新興行業中應用廣泛。為了滿足不同生產需求，特氣柜分為多種類型，如普通的氣體柜和大流量氣體供應柜，其中大流量氣體供應柜能夠提供更加穩定和大量的氣體供應。我們公司作為專業的特氣柜制造商，擁有多年的生產經驗和國內優秀的售后服務團隊，為客戶提供高品質的特氣柜產品，并確保客戶的生產安全和穩定。

規格：單瓶工藝氣瓶，全自動

基礎配置

■氦檢報告

■三色塔燈

■防爆電控箱

■高壓測漏功能

■帶自清潔功能

■4寸排風口及閥門

■所有閥門使用氣動閥

■單工藝瓶自動供氣

■防爆外柜，烤漆或不銹鋼外殼包覆

■符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗

■實現人氣分離的全自動觸摸屏操作(外吹掃、抽真空，自動緊急遠程切斷、事故報警，高壓保壓鋼瓶接頭測漏，泄漏報警對 接，通風出口等)

可選配置

■噴淋頭

■帶加熱盤面

■高溫探測報警

■配置電子磅秤

■配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應

■前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器

■為保證安全，所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌

適應氣體

燃爆性氣體，如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性氣體，如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等

應用行業

應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。