特氣柜是一種專門用于供應(yīng)特種氣體的設(shè)備，如易燃、易爆、劇毒等，這些氣體在半導(dǎo)體和LED等新興行業(yè)中應(yīng)用廣泛。為了滿足不同生產(chǎn)需求，特氣柜分為多種類型，如普通的氣體柜和大流量氣體供應(yīng)柜，其中大流量氣體供應(yīng)柜能夠提供更加穩(wěn)定和大量的氣體供應(yīng)。我們公司作為專業(yè)的特氣柜制造商，擁有多年的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和國內(nèi)優(yōu)秀的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為客戶提供高品質(zhì)的特氣柜產(chǎn)品，并確保客戶的生產(chǎn)安全和穩(wěn)定。

三瓶手動(dòng)特氣柜（GR）

規(guī)格：三瓶工藝氣瓶，全自動(dòng)

基礎(chǔ)配置

■氦檢報(bào)告

■三色塔燈

■防爆電控箱

■高壓測(cè)漏功能

■帶自清潔功能

■4寸排風(fēng)口及閥門

■所有閥門使用氣動(dòng)閥

■三工藝瓶自動(dòng)供氣

■防爆外柜，烤漆或不銹鋼外殼包覆

■符合國際安全規(guī)范的帶鋼絲玻璃觀察窗

■實(shí)現(xiàn)人氣分離的全自動(dòng)觸摸屏操作(外吹掃、抽真空，自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程切斷、事故報(bào)警，高壓保壓鋼瓶接頭測(cè)漏，泄漏報(bào)警對(duì) 接，通風(fēng)出口等)

可選配置

■噴淋頭

■帶加熱盤面

■高溫探測(cè)報(bào)警

■配置電子磅秤

■配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應(yīng)

■前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器

■為保證安全，所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌

適應(yīng)氣體

燃爆性氣體，如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性氣體，如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等

應(yīng)用行業(yè)

應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上，適用于高校實(shí)驗(yàn)室、材料分析實(shí)驗(yàn)室、芯片半導(dǎo)體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。